【48812】中微公司取得实用新型专利授权:“一种托盘结构及其外延成长设备”
来源:杏彩体育招商 发布时间:2024-07-01 04:00:17产品介绍
证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现中微公司(688012)新取得一项实用新型专利授权,专利名为“一种托盘结构及其外延成长设备”,专利申请号为CN8.8,授权日为2024年4月5日。
专利摘要:本实用新型揭露了一种托盘结构及其外延成长设备,该托盘结构包含:基座,其可设置于一旋转座上,所述基座的上表面包含一限位结构,所述限位结构围住构成一洼陷部;衬底支撑件,至少部分地坐落所述洼陷部内,用于承载衬底,所述衬底包含定位区域,所述衬底支撑件包含定位结构,所述定位结构与所述衬底的定位区域合作,用于避免所述衬底与所述衬底支撑件之间的相对滑动。其长处是:该托盘结构经过衬底支撑件的定位结构与衬底的定位区域之间的相互合作,完成了对衬底的方位束缚,使其无法相对衬底支撑件产生滑动,逐渐下降了衬底飞片的可能性,增加了衬底在工艺过程中的稳定性,有助于进步工艺成功率,下降破片的危险。
今年以来中微公司新取得专利授权38个,较去年同期减少了28.3%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研制方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。
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